近几年以来，稀土元素氯化铈掺杂磷光发光研究因为在诸如发光材料、激光、光纤放大器、高密度光存储和电致发光显示器件等领域有普遍的潜在应用前景，而得到很广的关注。其中，稀土掺杂的薄膜发光材料又因其在平板显示中的应用前景格外引人关注。然而，这方面材料的开发速度较为缓慢。到目前为止，只有Zn，Ca和Sr的硫化物和硒化物是大家认同的发光基质材料。

　　虽然，在硫化物发光机理材料方面取得了很大的进步，但是氯化铈的发光寿命退化因素限制了它的实际应用优势。与传统的硫基发光材料相比，氧基发光材料如氧化铝已经证明是潜在的的薄膜发光材料，这主要是因为，它的高的透明，优良的化学和热稳定性，和相对高的发光亮度。

　　许多种薄膜沉积技术如射频磁控溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、原子外延生长和溶胶凝胶方法等都被应用于发光薄膜材料的制备。其中，中频反应磁控溅射技术是相对成本较低、适合于大批量生产的成熟技术。它已经在薄膜生产中得到普遍应用。